WO9902276-A1 -- US5156881-A   TOSHIBA KK (TOKE)   OKANO H,  NOGUCHI S,  SEKINE M;  US6159559-A -- US4560641-A   HITACHI LTD (HITA)   KOKAKU Y,  KITOO M,  HONDA Y;  US5083033-A   TOSHIBA KK (TOKE)   KOMANO H,  HAMAZAKI T;  US5156881-A   TOSHIBA KK (TOKE)   OKANO H,  NOGUCHI S,  SEKINE M;  US5314724-A   FUJITSU LTD (FUIT);  FUJITSU VLSI LTD (FUIV)   TSUKUNE A,  FURUMURA Y,  HATANAKA M;  US5462899-A   NEC CORP (NIDE)   IKEDA Y;  US5593741-A   NEC CORP (NIDE)   IKEDA Y;  US6531193-B2 -- EP387403-A   AIR PROD & CHEM INC (AIRP)   HOCHBERG A K,  OMEARA D L;  EP519079-A1   FUJITSU LTD (FUIT);  FUJITSU VLSI LTD (FUIV)   TSUKUNE A,  FURUMURA Y,  HATANAKA M;  EP776036-A1   TOSHIBA KK (TOKE)   UMEZAWA K,  TSUCHIYA N,  MATSUSHITA Y,  KAMIJOU H,  YAGISHITA A,  KITA T;  EP880164-A1   CANON KK (CANO)   SUZUKI N,  MATSUO M,  ODA H;  EP1050600-A1   ;  EP1050601-A1   APPLIED MATERIALS INC (MATE-Non-standard)   XIA L,  YIEH E,  GEIGER F,  LIM T,  GAILLARD F;  EP603821-A2   ;  EP651385-A2   ;  EP729190-A2   MITSUI TOATSU CHEM INC (MITK)   SAITOH K,  ISHIGURO N,  SADAMOTO M,  FUKUDA S,  ASHIDA Y,  FUKUDA N;  EP764969-A2   CANON KK (CANO)   SUZUKI N;  EP881668-A2   ;  EP960958-A2   DOW CORNING CORP (DOWO)   LOBODA M J,  SEIFFERLY J A;  EP997927-A2   ;  US4981724-A   ;  US5094879-A   TOSHIBA KK (TOKE)   MATSUDA T,  OKANO H,  OHIWA T;  US5168343-A   ;  US5227196-A   SEMICONDUCTOR ENERGY LAB (SEME)   ITO K;  US5314724-A   FUJITSU LTD (FUIT);  FUJITSU VLSI LTD (FUIV)   TSUKUNE A,  FURUMURA Y,  HATANAKA M;  US5487875-A   CANON KK (CANO)   SUZUKI N;  US5532191-A   KAWASAKI STEEL CORP (KAWI)   NAKANO T,  SATO N,  OOTA T;  US5538699-A   CANON KK (CANO)   SUZUKI N;  US5541003-A   TDK CORP (DENK)   NAKAYAMA M,  SHIBAHARA M;  US5565247-A   ;  US5591486-A   TOSHIBA KK (TOKE)   OKANO H,  NOGUCHI S,  SEKINE M;  US5593741-A   NEC CORP (NIDE)   IKEDA Y;  US5621750-A   ;  US5646050-A   AMOCO/ENRON SOLAR INC (STAD)   LI Y,  BENNETT M S,  YANG L;  US5658389-A   TOSHIBA KK (TOKE)   MATSUDA T,  OKANO H,  OHIWA T;  US5677236-A   MITSUI TOATSU CHEM INC (MITK)   SAITOH K,  ISHIGURO N,  SADAMOTO M,  FUKUDA S,  ASHIDA Y,  FUKUDA N;  US5916365-A   SHERMAN A (SHER-Individual)   SHERMAN A;  US5942049-A   AMOCO/ENRON SOLAR INC (STAD)   LI Y,  BENNETT M S,  YANG L;  US5985091-A   CANON KK (CANO)   SUZUKI N;  US5994756-A   TOSHIBA KK (TOKE)   UMEZAWA K,  TSUCHIYA N,  MATSUSHITA Y,  KAMIJOU H,  YAGISHITA A,  KITA T;  US5998303-A   SONY CORP (SONY)   SATO J;  US6001431-A   SEMICONDUCTOR ENERGY LAB (SEME)   ITO K,  HAYASHI S;  US6159559-A   PENN STATE RES FOUND (PSRF)   REBER D M,  FONASH S J;  US6159871-A   DOW CORNING CORP (DOWO)   LOBODA M J,  SEIFFERLY J A;  WO1995020254-A1   ;  WO1995026571-A1   ;  WO1999002276-A1   ;  WO2000061833-A1